原创力文档- 14
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- 2023-07-05 发布于四川
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本公开内容所涉及的碳化硅衬底具有主面。所述碳化硅衬底的最大直径为150mm以上。在主面中，钠、铝、钾、钙、钛、铁、铜和锌各自的浓度小于5×1010原子/cm2的区域的总面积为主面的面积的95％以上。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113811643 A
(43)申请公布日 2021.12.17
(21)申请号 202080034953.3 (74)专利代理机构 中原信达知识产权代理有限
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