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- 2023-07-05 发布于四川
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本发明属于半导体探测器技术领域，公开了一种激光钻孔三维球形电极探测器、设计方法及应用，通过激光器多次均匀打孔形成沟槽，在沟槽内通过离子扩散的方法进行掺杂，最终形成球形电极。N型轻掺杂硅基体上端中间掺杂有N型重掺杂阳极，N型重掺杂阳极外侧掺杂有多个等距间隔排列的P型重掺杂上表面环；N型轻掺杂硅基体底部设置有P型重掺杂阴极，P型重掺杂阴极设置有P型重掺杂环和P型重掺杂面。本发明阳极到阴极间距离相同，使探测器内电势分布非常均匀，提高了新型探测器单元的电荷收集率；上表面重掺杂环的设计使探测器单元内表面电
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113809200 A
(43)申请公布日 2021.12.17
(21)申请号 202110860344.X H01L 31/118 (2006.01)
(22)申请日
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