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本发明公开了一种调控纳米晶高熵合金蠕变性能的方法，通过磁控溅射的方法制备非晶包裹纳米晶的双相高熵合金，其中非晶相可以看作宽度为2～3.5nm的晶界，纳米晶晶粒尺寸为3～5nm。由于非晶相对纳米晶晶粒的滑移和旋转起到很好的抑制作用，而调控退火温度可以改变非晶相宽度从而对晶粒旋转和晶界滑移进行不同程度的抑制，实现调控CrMnFeCoNi纳米晶高熵合金蠕变性能的目的。该方法包括磁控溅射镀膜和控制退火两个步骤。该方法可以有效的调控CrMnFeCoNi纳米米晶高熵合金的蠕变抗性。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113802101 A
(43)申请公布日 2021.12.17
(21)申请号 202110983341.5
(22)申请日 2021.08.25
(71)申请人 西安交通大学
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