1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

MEMS陀螺仪.pdfVIP

  • 2
  • 0
  • 约1.43万字
  • 约 12页
  • 2023-07-05 发布于四川
  • 举报

MEMS陀螺仪.pdf

    本发明提供一种MEMS陀螺仪，其包括：驱动质量块；驱动电极；检测质量块；位于所述检测质量块下方的检测电极；耦接于所述驱动质量块上的第一补偿梁；耦接于所述第一补偿梁和所述检测质量块之间的第二补偿梁；耦接于所述第一补偿梁上的至少一对补偿质量块，其中每对补偿质量块中的第一补偿质量块位于所述第一补偿梁的一侧，每对补偿质量块中的第二补偿质量块位于所述第一补偿梁的另一侧；位于所述至少一对补偿质量块下方的至少一对补偿电极，通过在所述至少一对补偿电极上施加电信号，以进行误差补偿。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113804171 A (43)申请公布日 2021.12.17 (21)申请号 202111088562.2 (22)申请日 2021.09.16 (71)申请人 美新半导体（天津）有限公司

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >