末端执行器的位移测量方法及装置.pdfVIP

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2023-07-05 发布于四川
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末端执行器的位移测量方法及装置.pdf

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本发明公开一种末端执行器的位移测量方法及装置。根据一个方面的通过半导体设备的装载锁定门的末端执行器的位移测量方法可以包括以下步骤：在所述末端执行器通过所述装载锁定门时，测量所述末端执行器的垂直方向的第一位移和水平方向的第二位移；基于测量的所述第一位移计算所述末端执行器的俯仰角和翻滚角的变化；以及基于测量的所述第二位移计算所述末端执行器的偏航角的变化。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113799172 A (43)申请公布日 2021.12.17 (21)申请号 202110665767.6 (22)申请日 2021.06.16 (30)优先权数据 10-2020-0