一种用于金刚石的生长装置及方法.pdfVIP

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  • 2023-07-06 发布于四川
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本发明涉及金刚石生产技术领域,尤其涉及一种用于金刚石的生长装置,包括十字形管件,所述十字形管件的外侧设置有加热套管,且十字形管件的内部设置有金刚石沉积衬底,还包括:混气机构,所述混气机构和十字形管件之间通过细管相连通;以及放电机构,所述放电机构用于加热混气机构导出的气流。本发明有效实现可在大气压条件下进行金刚石的快速生长,气流速度越快生长速度越高,使用效果更佳。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113818004 A (43)申请公布日 2021.12.21 (21)申请号 202111106745.2 (22)申请日 2021.09.22 (71)申请人 吉林大学 地址 13

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