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本发明涉及微系统异质集成技术领域,尤其涉及一种微纳件的转移方法,包括对微型件的拾取以及对微型件的放置两个步骤,对微型件的拾取步骤为通过金属球沾取粘附介质,将微型件从其生长基底精准拾取;所述微型件的放置步骤将拾取的微型件精准转移至含粘性表面的目标基底位置;所述金属球的制备以及微型件的拾取和放置步骤均通过标准引线键合仪完成,从而实现了微型件的规模化高效转移,有效克服了传统转移印刷等微型件转移方法因采用非标准化设备而难以规模化应用的不足。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113830727 A
(43)申请公布日 2021.12.24
(21)申请号 202111054781.9
(22)申请日 2021.09.09
(71)申请人 中国人民解放军军事科学院国防科
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