一种检测半导体电子器件的装置及方法.pdfVIP

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  • 2023-07-06 发布于四川
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一种检测半导体电子器件的装置及方法.pdf

本发明对热反射测量技术实现一种多光束信号采集方法,对热反射测量技术中的探测光入射光路组件和探测反射光采集组件进行一定的光路设计,在仅设置一个公用的平衡放大探测器的情形下,实现对两种不同波长段的热反射信号进行采集,平衡放大探测器对信号噪声的处理能力优于带放大功能的光电探测器,从而增加测试精度,使用同一个探测器使得信号采集和处理过程更为简化。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113834783 A (43)申请公布日 2021.12.24 (21)申请号 202111110155.7 (22)申请日 2021.09.18 (71)申请人 王红珍 地址 430

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