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检查装置和检查方法.pdfVIP

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  • 2023-07-06 发布于四川
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检查装置和检查方法.pdf

    本发明提供检查装置和检查方法，能够以简易的结构除去检查室内的晶片的热量。检查装置包括：排列有多个检查室的多层的检查室排，上述检查室能够收纳用于检查吸盘顶部之上的被检查体的测试器；供给致冷剂气体的致冷剂供给部；和控制部，上述致冷剂供给部具有：冷剂气体配管，其按每个上述检查室排设置，将多个上述吸盘顶部之间连结，供致冷剂气体通过；和第一热交换器，其按多个上述吸盘顶部之间的各上述致冷剂气体配管配置，与从上述吸盘顶部排出的致冷剂气体进行热交换，多个上述吸盘顶部分别具有对被检查体进行加热的加热器和温度传感器

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113820577 A (43)申请公布日 2021.12.21 (21)申请号 202110556938.1 (22)申请日 2021.05.21 (30)优先权数据 2020-0963

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