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一种应用于MOCVD设备的可伸缩基座.pdfVIP

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  • 2023-07-07 发布于四川
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一种应用于MOCVD设备的可伸缩基座.pdf

    本发明公开了一种应用于MOCVD设备的可伸缩基座，所述基座包括：基体、压力传感器、伸缩杆、控制装置；其中，所述基体包括母材和涂层；所述基体内部均匀的分布多个伸缩杆；所述压力传感器位于所述伸缩杆顶部；所述控制装置位于所述基体底部中间；所述控制装置内部署有数据处理模块；所述控制装置、压力传感器和伸缩杆部署有通信模块。所述基座能够根据压力信息进行智能伸缩，能够解决在外延生长时由于温度升高导致衬底与基座发生分离的现象，能够保证基座与衬底实时保持贴合状态，从而使衬底各处能够均匀加热，使衬底各处的温度均匀分

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113862780 A (43)申请公布日 2021.12.31 (21)申请号 202110939567.5 C23C 16/458 (2006.01)

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