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基板处理装置、基板处理方法、程序以及计算机可读取的存储介质.pdfVIP

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  • 2023-07-07 发布于四川
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基板处理装置、基板处理方法、程序以及计算机可读取的存储介质.pdf

    为了提高基板的质量，基板处理装置具有基板保持部、第一驱动部、药液喷出部、杯部、第二驱动部以及控制部。基板保持部以水平姿势保持具有第一面以及与该第一面相反的第二面的基板。第一驱动部使基板保持部以假想轴为中心旋转。药液喷出部朝向由基板保持部保持的基板的第一面喷出药液。杯部围绕基板保持部的周围。第二驱动部使杯部相对于基板保持部的上下方向中的相对位置变化。控制部一边执行药液处理一边通过第二驱动部使杯部相对于基板保持部的上下方向中的相对位置变化，该药液处理为：一边通过第一驱动部使基板保持部以假想轴为中心旋

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113874985 A (43)申请公布日 2021.12.31 (21)申请号 202080038502.7 (74)专利代理机构 成都超凡明远知识产权代理

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