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- 2023-07-07 发布于四川
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本发明提供一种基板处理装置，能高精度地控制回收的臭氧水的臭氧浓度。基板处理装置具备：臭氧水生成部，使用臭氧气体生成臭氧水；第一浓度计，测量生成的臭氧水的臭氧浓度；基板处理部；回收部，回收臭氧水并向臭氧水生成部供给；以及控制部，控制臭氧水生成部的动作，回收部具备：温度控制部，控制臭氧水的温度；以及第二浓度计，测量臭氧浓度，控制部基于由第二浓度计测量出的臭氧浓度，控制臭氧水生成部中的臭氧气体的供给量。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113871320 A
(43)申请公布日 2021.12.31
(21)申请号 202110723910.2
(22)申请日 2021.06.29
(30)优先权数据
2020-1128
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