原创力文档- 4
- 0
- 约1.98万字
- 约 18页
- 2023-07-07 发布于四川
- 举报
公开了具有牺牲柱的半导体装置组合件和制造牺牲柱的方法。在一个实施例中，半导体裸片的区可经识别为包含未连接到所述半导体裸片的结合衬垫的牺牲柱，以及连接到所述结合衬垫的活跃导电柱。具有所述牺牲柱的所述区当接近所述活跃导电柱安置时可防止所述活跃导电柱的面积密度经历突变，所述突变可导致所述活跃导电柱的高度的不可容许的变化。因此，通过减少所述活跃导电柱的所述高度的变化，所述牺牲柱可改善所述活跃导电柱的共面性。随后，可从所述半导体裸片移除所述牺牲柱。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113871312 A
(43)申请公布日 2021.12.31
(21)申请号 202110724289.1
(22)申请日 2021.06.29
(30)优先权数据
16/916,32
您可能关注的文档
- 显示设备、模块和装备.pdf
- 用于保持和/或使用工具的装置和方法.pdf
- 基板处理装置和基板处理方法.pdf
- 带ORING场效应管电流传感的相位冗余电源.pdf
- X射线成像系统和方法.pdf
- 一种百香果专用生物有机肥及其制备方法和应用.pdf
- 远心运动机构及手术机器人系统.pdf
- 一种材料性能检测装置及方法.pdf
- 基于动态修正混沌粒子群优化的雷达信号分选方法.pdf
- 掩模清洁器、丝网印刷装置以及丝网印刷方法.pdf
- 计量规程规范 JJF 2476-2026腹膜透析机校准规范.pdf
- 《JJF 2465-2026天然气在线硫化氢气体检测仪校准规范》.pdf
- JJF 1111-2026调制度测量仪校准规范.pdf
- 《JJF 1111-2026调制度测量仪校准规范》.pdf
- 计量规程规范 JJF 2471-2026实时荧光定量聚合酶链反应核酸检测系统分析性能确认和验证技术规范.pdf
- JJF 2471-2026实时荧光定量聚合酶链反应核酸检测系统分析性能确认和验证技术规范.pdf
- 《JJF 2471-2026实时荧光定量聚合酶链反应核酸检测系统分析性能确认和验证技术规范》.pdf
- 《JJF 2470-2026食用油品质检测仪校准规范》.pdf
- JJF 2470-2026食用油品质检测仪校准规范.pdf
- 计量规程规范 JJF 2470-2026食用油品质检测仪校准规范.pdf
文档评论（0）