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一种超声辅助的纳米薄膜制备装置及制备方法.pdfVIP

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  • 2023-07-08 发布于四川
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一种超声辅助的纳米薄膜制备装置及制备方法.pdf

    本发明公开了一种超声辅助的纳米薄膜制备装置及制备方法，制备装置包括压电换能单元、储存纳米材料悬浊液的储液凹槽和衬底，所述压电换能单元底部设有四维调节平台，所述四维调节平台使所述压电换能单元作X轴、Y轴和Z轴方向移动以及绕Z轴旋转；所述储液凹槽通过粘结层与压电换能单元的辐射面进行连接，并固化为一个整体。本发明不需要提供特殊气氛范围，设备工艺简单，在成膜过程中依靠压电换能单元辐射面与衬底之间的超声场所产生声辐射力和声学流等非线性效应，并借助声辐射力和声空化作用等将纳米材料沉积吸附于衬底表面，衬底经过

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 109368628 A (43)申请公布日 2019.02.22 (21)申请号 20181

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