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- 2023-07-12 发布于四川
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公开一种用于对钨图案晶片进行抛光的化学机械抛光浆料组合物以及一种使用所述化学机械抛光浆料组合物对钨图案晶片进行抛光的方法。所述用于对钨图案晶片进行抛光的化学机械抛光浆料组合物可包含：选自极性溶剂及非极性溶剂中的至少一种溶剂；研磨剂，含有用具有至少一个氮原子的硅烷化合物改性的氧化硅；以及含环氧烷基的氟类表面活性剂。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116410668 A
(43)申请公布日 2023.07.11
(21)申请号 202211433983.9
(22)申请日 2022.11.16
(30)优先权数据
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