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基于镂空微悬臂梁的光学传声器及传声系统.pdfVIP

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  • 2023-07-12 发布于四川
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基于镂空微悬臂梁的光学传声器及传声系统.pdf

    本发明实施例公开了基于镂空微悬臂梁的光学传声器及传声系统；光学传声器包括镂空微悬臂梁部件，镂空微悬臂梁部件包括：振膜本体；微悬臂梁，设置与振膜本体连接；微悬臂梁上设置有降低微悬臂梁的弹簧系数的镂空结构。该镂空结构能够降低微悬臂梁的质量和弹簧系数，在声波作用下更容易发生形变，但是不影响微悬臂梁的谐振频率和光学传声器的频响带宽，有效提高了微悬臂梁和光学传声器的检测灵敏度，而且，镂空微悬臂梁结构简单，形状、尺寸、设置位置能够灵活调整，制造成本低，在声波检测领域有良好应用前景。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116419137 A (43)申请公布日 2023.07.11 (21)申请号 202310410110.4 (22)申请日 2023.04.14 (71)申请人 郑州大学 地址 450001

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