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载台组件.pdfVIP

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  • 2023-07-14 发布于四川
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载台组件.pdf

    本实用新型公开了一种载台组件，包括基座与外墙。所述基座具有基材承载座以及围绕其的圆形凹槽，再者，外墙围绕于圆形凹槽的外围。所述圆形凹槽的外缘与基材承载座的边缘之间具有小于或等于5毫米的第一宽度，以及圆形凹槽的底部与外墙的顶部具有垂直的第一深度，其中所述第一深度与第一宽度的深宽比为1.5‑4。当基材透过所述载台组件受沉积作用时，载台组件可防止基材的非目标面受到沉积。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214203651 U (45)授权公告日 2021.09.14 (21)申请号 202022680164.7 (22)申请日 2020.11.19 (30)优先权数据

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