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改进型刷片机装置.pdfVIP

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  • 2023-07-14 发布于四川
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改进型刷片机装置.pdf

    本实用新型涉及一种改进型刷片机装置，属于晶片刷洗技术领域。本实用新型包括晶片、吸附装置以及刷片装置，吸附装置和刷片装置为分体结构，吸附装置位于刷片装置一侧，吸附装置包括竖向设置的悬臂，悬臂内缘设置有伸缩气缸，伸缩气缸的端部铰接有旋转臂，旋转臂在伸缩气缸带动下沿铰接处旋转90°从而靠近刷片装置；旋转臂末端安装有吸盘组件，吸盘组件包括吸附盘以及沿吸附盘周缘设置的抹面机构，晶片与抹面机构均与晶片表面相接触。本实用新型通过带有旋转臂的吸附装置，在吸附晶片的同时实现晶片位置的转移，提高效率且节省机械成本；

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214184221 U (45)授权公告日 2021.09.14 (21)申请号 202022722033.0 H01L 21/67 (2006.01) (22)申请日 2

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