泵体清扫系统及泵体清扫控制方法.pdfVIP

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2023-07-15 发布于四川
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泵体清扫系统及泵体清扫控制方法.pdf

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本申请提供一种泵体清扫系统及泵体清扫控制方法，该泵体清扫系统用于对真空泵的泵体内部进行清扫，泵体包括多级腔室，泵体清扫系统包括：检测组件，包括多个检测元件，每个检测元件被配置为设置在一级腔室内，用于检测所在级腔室的氮气通入情况；阀体组件，包括多个阀体，每一阀体被配置为设置在一级腔室的腔壁上，用于控制所在级腔室的的氮气通入量；控制器，与检测组件及阀体组件连接，被配置为根据每一检测元件的检测结果控制与各级腔室连接的阀体的开闭。本申请通过在每级腔室设置检测元件及阀体，且控制器基于检测元件的检测结果控制

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116428155 A (43)申请公布日 2023.07.14 (21)申请号 202310390654.9 B08B 13/00 (2006.01) (22)申请日 2023.04.