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- 2023-07-15 发布于四川
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检测器沿倾斜的光学轴线定位,以从工作表面接收光学辐射。接收到的光学功率的变化用于估计沿工作表面轴线的工作表面定位。所述接收到的光学功率可以从所述工作表面发出,并且所述工作表面的估计温度用于调整所述接收到的光学功率。可以使用一个或两个单元件检测器或线性检测器。由所述接收到的光学功率在所述线性检测器处产生的聚焦点的定位可以用于评估工作表面轴向定位。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116438425 A
(43)申请公布日 2023.07.14
(21)申请号 202180072224.1 (74)专利代理机构 北京三友知识产权代理有限
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