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本实用新型提供了一种靶材组件尺寸检测夹具，所述检测夹具的主体结构为设有凹槽的平板，所述凹槽由中部圆形凹槽以及分别设置于所述中部圆形凹槽径向两端的两个延伸槽构成，所述中部圆形凹槽与延伸槽重合的部分直接连通，构成一个凹槽整体；所述靶材组件中背板的安装面向下置于所述凹槽中。本实用新型所述检测夹具通过简单的结构设计，能够快速检测靶材组件中背板的外圆直径尺寸是否合格，避免因局部变形而容易造成的检测不准确问题，保证背板直径检测的精度和产品合格率；所述凹槽的结构设计，方便靶材组件的放置与取出，简化了靶材组件检
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214199930 U
(45)授权公告日 2021.09.14
(21)申请号 202120393737.X
(22)申请日 2021.02.22
(73)专利权人 宁波江丰电子材料股份有限公司
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