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S1743 型二维PSD传感器转换电路分析 摘要：简单介绍PSD 的原理、分类及几种PSD 的区别，分析二维PSD 传感器特性及其 等效电路，给出二维PSD 传感器的等效电路及转换电路。利用multisim 软件对二维PSD 传 感器转换电路分析。 关键词：二维PSD 传感器，等效电路，转换电路，multisim。 2 dPSD sensortransform circuit analysis Abstract: Simple introduction to the principle and PSD classification ， Analyzing two-dimensional PSD sensor characteristics and equivalent circuit,Give 2 d PSD ofthe equivalent circuit of the sensor and switch circuit. Use multisim software for 2 d PSD sensor transform circuit analysis. Keyword:2 dPSD,equivalent circuit,switch circuit,multisim. 一 引言 光电位敏传感器是一种对入射到光敏面上的光点位置敏感的光电传感器件，其输出信号 与光点在光敏面上的位置有关。他与象限探测器相比较，其特点是：1它对光斑的形状五 严格要求，即输出信号与光的聚集无关，只与光的能量中心位置有关，这给测量带来很多方 便；2光敏面上无须分割，消除了死区，可连续测量光斑位置，位置分辨率高，一维PSD 可达0.2um；3可同时检测位置和光强，PSD 器件输出总电流与入射光强有关，而各信号 电极输出光电流之和等于总光电流，所以从总光电流可求的相应的入射光强。它不像传统的 硅光电探测器只能作为光点转换、光点耦合、光接受和光强测量等方面的应用；而能直接用 来测量位置、距离、高度、角度和运动轨迹等。它与阵列式图像传感器也不一样，不像固态 图像传感器的测量表面由于敏感单元有一定大小而存在死区；PSD 器件能连线检测光点的 位置，没有死区分辨力高，适配电路简单等特点；正日益引起人们的重视。PSD 具有以下 特性： *位置分辨率高 *可减少来自日光和日光灯的干扰 *极间电阻高 *响应速度高 *可以同时测量位置和强度 *检测数据只与光点的能量中心有关 *可靠性高 光电位置传感器被广泛地应用在激光束监控 （对准、位移和振动）、平面度检测、二维 位置监测系统等。如利用PSD 测量液体浓度，利用PSD 和LD 测量固体硬度，利用PSD 测 量两平面的相对平行度等。 二 PSD 工作原理及等效电路 PSD 包含三层，上面为P 层，下面为N 层，中间为I 层，他们全被制作在同一硅片上， P 层不仅作为光敏层，而且还是一个均匀的电阻层。 当入射光照射到PSD 的光敏层上，在入射位置上就产生了与光能成比例的电荷，此电 荷作为光电流通过电阻层由电极输出。由于P 层的电阻是均匀的，所以由电极 1和电极2 输出的电流分别与光点的各电极的距离成反比。设电极1和电极2 间的距离为2L，电极1 和电极2 输出的光电流分别为i1和i2，则电极3 上的电流为总电流i0，且i0 i1+i2.只要想 办法测出i1和i2，即可确定光斑能量中心对于器件中心的位置，它只与i1和i2 电流的和差 及比值有关，而与总电流无关 （即与入射光能的大小无关）。由于PSD 是分割型元件，对光 斑的形状无严格要求光敏面上无象限分隔线，所以对光斑位置可进行连续测量从而获得连续 的坐标信号。影响PSD 测量精度的因素主要有背景光和暗电流，位置的线性度以及元器件 的精度等。 PSD 分为两类：一维PSD 和二维PSD。一维PSD 主要用来测量光点在一维 （x 坐标） 方向上的运动位置。二维PSD 用来测量定光点在平面上的二维 （x，y）坐标，他的感光面 是方形的，比一维PSD 多一对电极，按其结构分可分为两面分离型PSD 和表面分离型PSD。 图一 一维PSD 图二 两面分离型PSD 图三 表面分离型PSD 两面分离型P