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光源 中间象 物镜 试样 聚光镜 目镜 毛玻璃 电子枪 聚光镜 试样 物镜 中间象 投影镜 观察屏 照相底板 照相底板 当前第1页\共有31页\编于星期四\18点 扫描电子显微镜（SEM）Scanning Electron Microscope 当前第2页\共有31页\编于星期四\18点 各种信号成像的分辨率（nm） 扫描电子显微镜的成像原理与透射电子显微镜完全不同，它不用电磁透镜放大成像，而是以类似电视摄影显像的方式，利用细聚焦电子束在样品表面扫描时激发出来的各种物理信号来调制成像。当扫描电子显微镜与其它分析仪器相组合后，就可以在同一台仪器上进行形貌、微区成分和晶体结构等多种微观组织结构信息的同位分析。 信号 二次电子 背散射电子 吸收电子 特征X射线 俄歇电子 分辨率 5 ~ 10 50 ~ 200 100 ~ 1000 100 ~ 1000 5 ~ 10 当前第3页\共有31页\编于星期四\18点 电子与样品相互作用产生的各种信息 当前第4页\共有31页\编于星期四\18点 各种信息的作用深度 当前第5页\共有31页\编于星期四\18点 二次电子成像原理图 当前第6页\共有31页\编于星期四\18点 二次电子形貌像示意图 当前第7页\共有31页\编于星期四\18点 二次电子检测器示意图 当前第8页\共有31页\编于星期四\18点 二次电子和