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飞秒激光微加工技术在微加工中的应用 飞秒激光加工微构造 鉴于能量高度集中、热影响区小、无飞溅无熔渣、不需特别的气体环境、无后续工艺、双光子聚合加工精度可达0．7μm等优势，飞秒激光在引诱金属微构造加工应用方面和精美加工方面都获得了很大的进展。 (1孔加工在1mm厚的不锈钢薄片上，飞秒激光进行了拥有深孔边沿清楚、表面洁净等特色的纳M级深孔 加工(如图1a；在金属薄膜上，钛宝石飞秒激光加工制备出了微纳M级阵列孔(如图1b，孔径最小达 2.5μm，孔直径在2．5～10μm间可调，最小间距可达10μm，很简单实现10-50μm间距调整。 (2金属资料表面改性1999年，德国汉诺威激光中心NolteS等人初次报导了联合钛宝石飞秒激光三倍频 光(260nm和SNOM(扫描近场光学显微镜在金属镉层制出了线宽仅200nm的凹槽。为此后的无孔径近场 扫描光学显微镜  (ANSOM代替  SNOM确立了基础，获取了高达  70nm  的空间分辨率，开辟了远场技术在纳  M 范围下的物理化学特征以及输运体制的研究。 (3金属纳M颗粒加工自1993年HengleinA等人初次利用激光融化法制备金属纳M颗粒以来，很多研究 小组制备出高纯度、粒度散布平均的金属纳M颗粒。LinkH等人进一步控制飞秒激光的能流密度和照耀时间，将金属纳M棒完好融化为金属纳M点。与其余激光脉冲对比，飞秒激光改变的金属颗粒尺寸大小和特定形状，使金属纳M颗粒特别是贵金属(Au、Hg、Pt、Pd等在催化、非线性光学、医用资料科学等领域拥有广阔的应用远景。 (4金属掩模板加工新加坡南洋科技大学VenkatakrishnanK等人利用飞秒激光直写方法制作了以金属薄 膜为汲取层、石英为基底的金属掩模板，并将前入射与后入射两种方案作了比较，发现采纳前入射的方法能够获取更小的特色尺寸和气的边沿质量。并且利用飞秒激光超衍射极限加工有效地修理了金属镉掩模板 的缺点，修复的线宽达到小于100nm的精度。目前建立的飞秒激光修正光掩模板工具已在IBM的柏林顿、佛蒙特州的掩模制作设施中运转。这对微电子技术的发展将拥有重要意义。 (5复杂的微构造加工①耐热玻璃上的沟渠道构造(图2，边沿质量较好。但构造的精准性、表面和底端 形态还有待改良；②光敏树脂里面制作的世界上最小的人造动物模型：10μm长，7μm高的公牛； ③ScR500树脂内制备的约10μm的微型金字塔和房屋模型；④光刻胶上飞秒双光子聚合(Two-Photon P01ymerization：TPP的微型蜘蛛和恐龙模型(图3等。 这些都为飞秒激光加工将在高密度内联接印刷电路板、MEMS制造、微纳M过滤技术中拥有优秀的工业应 用远景确立了基础。 光通信领域 光通信的高速率、大容量和宽带宽的发展方向，要求光电器件的高度集成化。而集成化的前提是光电器件的微型化。所以，光电器件的微型化是目前光通信领域研究的前沿和热门。最近几年来，对比传统的光电技术，飞秒激光微加工技术将成为新一代光电器件的制造技术。国内外学者在光波导的制备技术等诸多方面进行了有利的探究，获得了很大的进展。 (1光波导的制备光波导易于和光纤通信系统耦合且消耗小，在频域中体现出丰富的传输特征，成为光纤 器件的研究热门。与离子注入法和热扩散型离子互换法等目前常用的制作方法对比，飞秒激光制作波导在 室温环境下进行，过程简单，波导构造在高温时仍能保持优秀的质量和稳固性。美国学者用飞秒激光制 备的增益光波导长  1cm，可产生  3dB／cm的信号增益。大阪大学的  WatanabeW等用  85fs  、重复频次 lkHz  、单脉冲能量  1．5  μJ的钛蓝宝石激光制作  的多模干预波导阵列，实现了高阶模输出。目前，  利 用计算机精美控制飞秒激光加工平台，能够在资料内部的随意地点制得随意形状的二维、三维或单模光波 导。 (2光栅的制备光栅在光通信、色散赔偿、光纤传感等领域中发挥着不行代替的作用。光家产的发展，对 光栅提出了更高的要求：①不一样几何形状摆列，如六角阵列光栅；②在光纤内部刻划，如Bragg(布拉格 光纤光栅。传统加工方法工序繁琐、制作的光栅稳固性差、寿命短。而飞秒激光微加工战胜了这些弊端， 永远性改变折射率，改变量高达0．05，实现直接刻划，适应了现代光栅微型化和多样化的发展趋向。 MihailovS等人采纳钛宝石飞秒激光在掺锗通信光纤纤芯上获取的反射Bragg光栅，拥有折射率调制范 围广，温度稳固性高的特色。 (3光子晶体的制备光子禁带和光子局域是光子晶体的两大特色，使其极有可能代替大部分传统的光学产 品。可是微M甚至亚微M级三维复杂光子晶体的制备技术是急需解决的重点问题。飞秒激光双光子聚合法 灵巧，加工精度高，是制备光子晶体的理想选择。  SunH