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Silvaco TCAD仿真流程及语法规则 Page ? 20主要内容第一部分仿真流程第二部分语法规则第三部分语法学习及书写建议 Page ? 31 仿真流程第一部分仿真流程第二部分语法规则第三部分语法学习及书写建议 TCAD仿真流程1.1 仿真流程Page ? 4输入命令程序运行输出结果结果分析输入命令 划分网格定义衬底工艺步骤结构操作…工艺仿真流程结构描述材料模型描述数值计算方法求解…器件仿真流程器件结构 电路网表稳态分析瞬态分析…电路仿真流程 1.2.1 输入命令输入命令流 Page ? 5go athenaline x loc=0 spac=0.1line x loc=1 spac=0.1line y loc=0 spac=0.02line y loc=10 spac=0.2init c.phos=2e13 oreit=111 two.dtonyplot 1.2.2 程序运行命令逐行运行实时运算信息Page ? 6 1.2.3 输出结果实时输出结构文件 *.str日志文件 *.log提取的数据 *.datPage ? 7 1.2.4 结果分析Tonyplot显示（Display）和分析（Tools）Tonyplot导出数据查看实时输出Page ? 8 Page ? 92 语法规则第一部分第二部分仿真流程第三部分语法学习及书写建议语法规则 2.1 通用格式通用格式，由com