【Silvaco TCAD实用教程】5 工艺仿真模块及工艺仿真流程.pptxVIP

Silvaco TCAD工艺仿真模块及工艺仿真流程;Page ? 2;Page ? 3;1.1 工艺仿真模块;1.1.1 ATHENA;1.1.2 SSuprem4;1.1.3 MC 蒙特卡洛注入仿真器;1.1.4 硅化物模块 的功能;1.1.5 精英淀积和刻蚀仿真器;1.1.6 光刻仿真器;1.2 可仿真的工艺;1.3 ATHENA输入和输出;Page ? 13;2 工艺仿真流程;2.1.1 网格定义的命令及参数;2.1.2 网格定义的例子;2.1.3 网格定义需要注意的地方;2.2.1 初始化的命令及参数;2.2.2 初始化的例句;2.2.3 初始化的例子;2.2.4 网格释放;2.3 工艺步骤;2.3.1 氧化的命令及参数;2.3.2 Diffuse做氧化的例子;2.4 提取特性;2.4.1 自动生成提取语句;2.4.2 提取氧化层厚度的例子;2.5 结构操作的命令及参数;2.6 Tonyplot 显示;Page ? 30;3 总结;Page ? 32;