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一种电容式微加速度计的设计与工艺仿真 sd技术的发展包括两个方面：研究、改进和创建新的工艺、方法和技术，并以满足需要的sso实现。由于ssos产品针对不同的应用，其形状、变形、材料和输入-输出介质不同，所需的制造工艺也不同，这远不符合现有技术。因此，sso技术是一个伟大的长期发展方向。另一方面，在现有的技术条件下，如果设计一个特定的应用目的，或使用现有的工艺线，它将成为ss技术的另一个发展方向。在这项工作中，我们主要讨论后者的微加速度计的设计应包括相关的制造和加工技术，这对微系统的性能产生了重大影响。因此，在设计过程中，需要考虑电容式微加速度计的成本效益差。表面技术的微加速度计使用重量块将加速度的变化转换为动态电阻速度之间的极距离变化。出于工业设计的特点，电容式微加速度计可分为两类：表面技术的微加速度计和体硅的微加速度计。表面微加工工艺通过对硅表面层的加工和对受害者层的腐蚀来制造微机械部件。因此，当需要生产抗弯装置时，制得到的设备的可靠性和检测能力非常小。硅微机械的制造工艺可以获得很大的适应性。在传统的硅微机械中，玻璃-硅-银的三层板结构通常用于检测体积电容式结构，但玻璃难以加工出系列孔，因此需要采用特殊的技术，但这些技术不适合堆积成电。采用硅荣固收获法制备的硅-银三角帆的结构也可以用来制作差分电容式结构。然而，这种结构通常具有较大的寄生电容量。通过将硅、硅、硅、硅、硅、硅三个硅面的结构与深度槽雕刻工艺相结合，可以获得制作体积检测惯性传感器的加工技术。 基于这种加工技术, 本文设计了一种横向电容式微加速度计, 将两种改变平行板电容的方法有效的结合在一起.该结构的特点是: (1) 叉指结构设计在质量块附加的尾部, 当结构受到敏感方向的加速度载荷时, 叉指结构极板的正对面积发生变化, 这为结构的灵敏度的提高做出了较大的贡献; (2) 由于可动叉指受到的左右两边的静电力大小相等, 方向相反而相互抵消, 所以不受下拉电压的限制, 结构的静电力分析只需要考虑横向的惯性质量与固定极板所形成的差分电容; (3) 将两种改变电容变化的方法相结合, 同样保证了结构的线性度. 最后, 基于体积图形学 (Voxel-Based) 的虚拟工艺系统ZProcess 1 结构设计与性能分析 1.1 从惯性质量角度进行的变通性计 电容式微加速度计的结构设计主要包括三部分:敏感质量, 固定电容极板以及两者之间的弹性连接部分.由于微机械尺寸很小, 所以形成的电容量是非常微弱的, 在使用中经常被干扰噪声淹没, 作为测量仪表, 提高精度很重要的一项措施就是采用差动测量方式, 差动测量的两部分, 由于在相同环境条件下受到的干扰噪声基本一样, 所以可以通过相减排除其绝大部分, 极大地提高了信噪比.因此, 通常电容式微加速度计几乎都是采用差动结构 本文基于硅———玻璃键合技术和ICP深反应离子刻蚀技术, 设计了一种横向的电容式微加速度计, 将两种改变平行板电容的方法结合在一起.采用双端固支的悬臂梁, 在质量块的左右两边设计了附加的尾部, 来增加惯性质量的同时降低了机械热噪声.为了提高结构性能, 在尾部设计了上下对称的20对叉指结构.以双端悬臂梁为中心轴, 上下两边的电容极板分别为相同的极性, 以形成差分电容.当惯性质量在敏感方向上振动时, 形成横向结构的差分电容的极板间距发生了改变, 同时叉指结构的正对面也发生了改变, 将这两种改变电容的方式相结合, 有效的利用了结构的几何空间, 这两种改变电容的方式共同产生了电容变化量.图1是结构的示意简图. 梁的选取是结构的关键, 在梁长为1 000μm, 选取梁的宽度分别为3μm, 6μm, 8μm, 10μm, 14μm对结构的最大位移与频率进行分析比较 (如图2) , 通过分析看出结构的最大位移 (刚度) 与梁的宽度成反比, 结构的谐振频率与梁的宽度成正比.刚度越小, 系统的谐振频率越低, 则加速度计灵敏度越高;但是谐振频率的减少, 会引起输入测量信号的带宽的减小.这样, 就必须在测量信号的带宽和灵敏度之间综合考虑. 在设计过程中, 为了增大结构的灵敏度, 减小梁的刚度, 我们对相同尺寸的直梁和折叠梁做了分析比较, 如图3所示, 在相同尺寸下折叠梁的刚度小于直梁, 最终我们选用了宽为10μm的折叠梁. 结构的参数:梁长为1 000μm, 宽10μm, 厚度为70μm, 整个质量块的尺寸为1 800μm*600μm, 敏感电容为600μm*70μm. 1.2 结构的特性分析 对于电容式微加速度计, 由于结构尺寸的缩小, 静电力、分子之间的相互作用力、空气产生的阻尼等, 这些在宏观中被忽略的因素都将是影响微结构性能的主要因素.同时结构的弹性刚度, 频率, 灵敏度分辨率也是重要的表征加速度计特性的参数 (1) 静力分析的计算方法