JBT 8233-1999立式接触式干涉仪.pdf

ICS 17.180.30JBN 34中华人民共和国机械行业标准JB/T 8233—1999立式接触式干涉仪Vertical contact interferometers1999-08-06 发布2000- 01～ 01实施国家机械工业局发布 JB/T 8233-1999前 言本标准是对 JB/T 8233一95(立式接触式于涉仪》的修订。 修订时,对原标准作了编辑性修改，主要技术内容没有变化。本标准自实施之日起,代替 JB/T 8233一95。本标推由全国光学和光学仪器标准化技术委员会提出并归口。本标准负责起草单位：上海光学仪器研究所，贵阳光电技术研究所。本标准于 1964 年 5月首次发布，于 1984 年 2月第一次修订,于 1995 年调整为 JB/T 8233一95。 中华#人民共和国机械行业标准立式接触式干涉仪JB/T 8233—1999*机械工业仪器仪表综合技术经济研究所出版北京市广安门外大街甲397号邮政编码：100055电昇话:坊市光达胶印厂印刷机械工业仪器仪表综合技术经济研究所发行*E -- mai : sditei@ public .. cn网 址 : http: / /www. itei. /content. htm*2001年7月第一版2001 年 7 月第一次印刷*印数:150 中华人民共和国机械行业标准JB/T 8233—1999立式接触式干涉仪代替 JB/T 8233—95Vertical contact interferometers范围本标准规定了立式接触式干涉仪的基本参数及尺寸、技术要求、试验方法等。本标准适用于比较法测量长度的立式接触式干涉仪。2 引用标准下列标准所包含的条文，通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。本标准出版时，所示版本均为有效。所有标准都会被修订，使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性。GB/T 11162—1989光学分划零件通用技术条件GB/T15464一1995仪器仪表包装通用技术条件JB/T9329--1999仪器仪表运输、运输贮存基本环境条件及试验方法JB/T 9342—~1999光学计量仪器用测帽3基本参数及尺寸仪器的基本参数及尺寸应符合表1的规定。表 1序号名称要求1测量范围mm0 ~ 1202分格值可调范围μm0. 05 ~ 0.23推荐使用的分格值μm0.1分划板分划范围分格目镜读数4± 50投影读数± 30测量杆移动范围rmm0.56测量杆与测帽内径配合的外径尺寸rmm@6g67测盘力N1.5±0.104:技术要求4.1仪器外表应美观，并需保证下列质量：a）电镀表面不应有脱皮；b）漆面不应有油漆脱落现象和显著的颜色不均匀；国家机械工业局 1999 - 08 - 06 批准2000 - 01 ~ 01 实施1 JB/T 8233-1999c）零件表面不应有毛刺，外部零件锐边应倒棱；d）外部零件接合处应齐整,无粗糙不平现象。4.2仪器各工作面上，不应有锈蚀、碰伤、显著的划痕以及影响测量的其他缺陷。4.3光学零件的表面不应有明显的擦痕、麻点、水珠、霉点等疵病，胶合光学零件的胶合面不应有气泡和脱胶现象。4.4仪器所有紧固件应保证固紧可靠。4.5仪器上所有的刻度、刻字应清晰,刻线刻字的技术条件应符合 GB/T 11162 的规定。4.6仪器各活动部分的移动和转动应平稳，不应有卡往、松动和急跳现象。当臂架的紧固螺丝松开时，不得因自重而下降。4.7仪器电气部分性能应良好、绝缘应可靠。4.8仪器的光学系统成像应清晰。干涉带不应有明显弯曲和扇形。4.9干涉带的宽度和方向应能任意调节，调节应切实可靠。干涉带在移动中,宽度和方向不应有变化。4.10黑色干涉带移至视场边缘时，不应变级（允许摆动自镜观察）。4.11分划板调节螺丝应能使分划板平稳地移动，其移动范围不应少于20个分格。4.12当测量杆处于自由状态时，彩色干涉带应位于分划板的负侧。4.13仪器的主要技术指标应符合表2的规定。表 2序号指标名称要求A= ± (0.03 + 1.5 n iμn式中： n-分划板上受检点间的分格数；仪器的示值误差限1一分划板的分格值；被检仪器所用单色光的波长；波长测量误差≤2nm)2测量杆多次移动时的示值变动性0.02m不应超过0.05um，当外力除去后，示值偏离受力前3测量杆在径间受力2N时所引起的示值变化程度不应超过0.02μm4臂架移动的直线度10°5工作台紧固螺丝固紧时所引起的示值变化0. 5μm6带筋工作台与测盘杆轴线的垂直度87带筋工作台中央筋和其他筋的相对位置中央筋应比其他筋高出0.3μm~0.6以m8带筋工作台和辅助工作台的相对位置带筋工作台应比辅助工作台高出0.01xm~0.05imm9球筋工作台测头和筋条