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一种单惯性质量块的六维加速度传感器 六维加速传感器技术是对物体的三维运动的感知和测量，例如参考惯性坐标系的三维线加速度和三维角加速度。它在工业自动化控制、交通运输工具、机器人控制技术、导航跟踪设备、互动娱乐设备、医疗设备、地震预测设备、军事和民用航空设备等领域有着广泛的需求和应用，尤其是对螺旋式主导驾驶系统的需求（全球速度）吸引了研究人员对六维功率传感器的研究兴趣。 现有六维加速度传感方案包括基于单一惯性质量块-弹簧-阻尼系统 (简称I类传感方案) 和基于多个单轴加速度传感器的集成系统 ( (简称Ⅱ类传感方案) ) 两类 根据转换元件的类别, 基于I类传感方案的六维加速度传感器可分为:弹性体应变型 根据采用的单轴加速度传感器的个数, 基于Ⅱ类传感方案的六维加速度传感器可分为:六单轴加速度传感器构型和九单轴加速度传感器构型两类。这些传感器系统成本高、体积大、结构复杂, 给安装和结构微型化带来困难 本文在平板式压电六维力传感器的研制基础上, 提出并研究了基于单惯性质量块的一种六维加速度传感器, 建立了此六维加速度传感的结构模型和数值模型, 借助有限元软件对其静态和动态主要性能进行了研究, 得到了灵敏度、维间耦合度和固有频率等特性, 验证了本六维加速度传感器原理的正确性。 1 电极、培养电极 本六维加速度传感器选用石英作为转换元件, 属分列式结构, 主要由盖子 (1) 、预紧螺栓 (2) 、惯性质量块 (3) 、石英晶组 (4) 、基座 (5) 组成。信号输出电极、绝缘填充剂和基座组成;石英晶组夹装在惯性质量块和基座之间, 且均匀分布在基座的石英晶组安装凸台上。图1为六维加速度传感器的结构示意图。 1.1 工作原则 图2是本传感器内部石英晶组的布局图。设被测线加速度和角加速度分别为a 1.2 结构模型及其改进 为简化分析, 假设传感器中:石英晶组刚度相同、灵敏度相等, 呈对称均布配置;惯性质量块为刚体, 且各向刚度相同, 灵敏度相等且均匀分布;a 图3是本压电式六维加速度传感器结构简图。O-XYZ为惯性质量块质心点坐标系, O 根据式 (1) 和式 (2) 可进一步得到六维加速度传感器输入和输出的结构模型关系式 (3) 。 从式 (3) 可以看出, 由于六维加速度传感器空间结构的影响, 除线加速度a 2.1 石英晶体材料的局部系数化和可映射系数化分析 建模过程:首先运用CAD软件建立六维加速度传感器的结构模型, 然后借助ANSYS提供给CAD软件的接口将模型导入ANSYS中, 选用耦合单元SOLID98作为石英晶体的单元类型, 并且输入石英晶体材料的压电系数, 弹性系数和介电常数矩阵, 同时按照图2中晶片组的布局要求为每一组晶片组建立局部坐标系, 选用映射方式划分网格。其他的部件材料选用不锈钢, EX=2×10 载荷施加与求解:载荷施加主要包括约束和加速度载荷加载两部分工作, 在进行约束设置时, 完全按照六维加速度传感器的安装状态进行相应设置, 预紧力通过预紧螺栓的断面施加, 基座的安装面的全部自由度设为0, 同时, 为了去除实际中预紧装置的影响研究本传感器在理想工作状态下的特性, 特将传感器惯性质量块下表面、石英晶组和石英晶组安装面之间的接触状态设为始终绑定状态。 2.2 入和电势输出之间的关系 由于ANSYS耦合场分析得到的是传感器各组石英晶组面上的电势差, 本文中就用电势和加速度之间的关系来描述传感器加速度输入和电势输出之间的关系。图4~图9分别是数值仿真得到的六维加速度传感器a 根据图4~图9和式 (4) 得到表2所示的六维加速度传感器的灵敏度特性和维间耦合结论, 本加速度传感器各维的灵敏度分别为0.697 V/g 表3是复合加载后的输入输出和解耦结果, 由于线性耦合而非传统多维加速度传感器或多维力传感器涉及的非线性耦合, 通过简单的计算就实现了完全的解耦。 2.3 固有频率和振型 研究六维加速度传感器动态特性主要是研究其固有频率, 固有频率和振型是承受动态载荷结构设计中的重要参数, 运用ANSYS对传感器实施模态分析可以判断传感器的固有频率和振型。图11给出了本传感器1~6阶的振型图。 表4给出了六维加速度传感器1~6阶振型和固有频率, 结合前期研究结论可知, 本加速度传感器的固有频率理论上可达25 k Hz。 3 对被测载体的六维加速度传感 本文介绍了基于单质量块的六维加速度传感器的原理与结构, 建立了相应的数学模型, 并在运用ANSYS有限元技术对传感器的静动态传感特性进行了仿真研究, 得到如下结论: (1) 本六维加速度传感原理及传感器结构能够有效实现对被测载体的六维加速度传感。 (2) 依据文献[8]的单维微型化压电加速度传感器研究方案本方案可知, 本方案亦适合研制基于MEMS工艺的微六维加速度传感器。 (