HG_T 5962-2021CN硅片切割废液处理处置方法.pdf

ICS 13. 030. 20CCS Z 05HG中华人民共和国化工行业标准HG/T5962—2021硅片切割废液处理处置方法Treatment and disposal method for waste liquid of silicon cutting2021-08-21发布2022-02-01实施中华人民共和国工业和信息化部发布 HG/T 5962—2021前 言本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定趣草，请注意本文件的某些内容可能渗及专利，本文件的发布机构不承担识别专利的责任。本文件由中国石油和化学工业联合会提出。本文件由全国废弃化学品处置标准化技术委员会（SAC/TC294）归口。本文件起草单位：嘉兴市环科环保新材料科技有限公司、中海油天津化工研究设计院有限公司、广州市环境保护技术设备有限公司、浙江水知音环保科技有限公司、潮海宏铄（连云港）清洁技术有限公司。本文件主要起草人：金月祥、王意、茹伟原、既忠强、王立林、金佳媛、陆思伟、倪康、朱鸿宇、王莹、黄正浩。- HG/T 5962—2021附录A(规范性)各工序处理效果计算方法A. 1回用水不溶物含量的测定A. 1. 1试验步骤用量筒量取250mL回用水，精确至1.0mL，用预先于105℃±2℃下干燥至质量恒定的滤板孔径为5μm~15μm的玻璃砂抽滤，用60mL热水（约60℃）分3次洗涤残渣，然后连同玻璃砂增于105℃±2℃下干燥至质量恒定。A. 1. 2试验数据处理回用水不溶物含量的质量分数w:，按公式（A.1）计算：m,moW VX103+. (A.. )式中：干燥至质量恒定后国用水不溶物和玻璃砂埚的质量的数值，单位为克（g）；mo干燥至质量恒定后玻璃砂埚的质量的数值，单位为克（g）；V—量取国用水的体积的数值，单位为毫升（mL)。A.2成品碳化硅回收率成品碳化硅回收率wz，按公式（A.2）计算：W2 mX100%. (A..)式中;含征硅粉的碳化硅的质量的数值，单位为克（g)；微硅粉的质量的数值，单位为克（g)。A.3成品聚乙二醇国收率成品聚乙二醇收率ws，按公式（A.3）计算：V-V,W V×100%. (A 3)式中：V.固液分离得到聚乙二醇（浓度折百）的体积的数值，单位为毫升（mL)；V,经股悬分离、树脂交换、微孔过滤及燕发脱水得到成品聚乙二醇的体积的数值，上单位为毫升(mL)。a HG/T 5962—2021硅片切割废液处理处置方法1范围本文件规定了硅片切割废液（浆）的组成、处理处置方法、环保排放要求。本文件适用于硅片切割生产线产生的切割废渡（浆）的处理处置，2规范性引用文件下列文件中的内容通过文中的规范性引用面构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB 5085. 7危险废物鉴别标准通则GB 8978污水综合排放标准GB 16297大气污染物排放标准GB 18599一般工业固体废物忙存和填埋污染控制标准3术语定义本文件没有需要界定的术语和定义。4硅片切割废液的组成硅片切割度液（案）的主要成分见表1，表 1合量成分全刚线硅片切制砂线配合砂案奶割离线度浆料在线废蒙科聚乙二酶w/%45~4719 ~21碳化硅/%-44~4631~33硅粉 w/%47~495~746~48水w/K50~522~40. 9~1. 1金属杂质w/%0. 9~1. 1 HG/T 5962—2021硅片切割废液的处理处置方法5.1金刚线硅片切割度液处理处置5. 1. 1方法提要切割度液（废水、冷却波）经压滤分高，渡相经净化处理后得到国收水回用，固相（围废）经处理后可回收硅。5. 1. 2工艺流程简达切割废液（废水、冷却液）统一收集于废水收集池，用板框压滤机进行固液分离，液体经陶瓷滤膜过滤后，大部分返回切割工艺回用（得到的回用水），少量高浓废水进入污水站高浓废水池进行进一步处理。固废中含有硅粉及少量金属杂质，经处理后交由具有硅回收能力的企业进行硅提纯处理。5. 1. 3工艺流程图金刚线硅片切割度液处理处置工艺流程见图1。金别载初片机→切剂皮液（废水、冷部液）废水收巢池板概压撼机固度处理(莅粉及少量金属杂股）浮水站高微废水准国用水收集锁图 1金刚线硅片切割废液处理处置工艺流程5. 1. 4工艺控制参数5.1.4.1切割废液处理温度：50C~60。5. 1. 4. 2搅拌时间：30min~60min，5. 1. 4. 33水洗：pH6~8.5. 1. 4. 4烘干温度，105℃～110℃。5. 1. 4. 5烘干时间：60min~90min，5. 1.5主要生产设备切割废液处理主要设各包括：加热揽拌装置、板框压滤机、陶瓷膜