晶舟夹取机构的位移驱动装置.pdfVIP

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2023-07-29 发布于四川
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晶舟夹取机构的位移驱动装置.pdf

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为了解决动晶舟夹取机构位移精度低的技术问题，本实用新型提供了一种包括平移驱动机构、升降驱动机构、连接杆和一对拨杆开关的晶舟夹取机构的位移驱动装置，平移驱动机构由伺服电机一、齿条、齿轮和两条直线滑轨一构成；升降驱动机构由基座、伺服电机二、滚珠丝杆副和两条直线滑轨二构成；一对拨杆开关安装在晶舟夹取机构的一对夹持臂上，拨杆开关的拨杆向下延伸至所述夹持臂的下方。伺服电机、齿轮齿条、滚珠丝杆副的组合驱动晶舟夹取机构升降和平移，配合直线导轨导向，提高晶舟夹取机构的位移精度；同时，两个拨杆开关探测晶舟的位置，

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 209922397 U (45)授权公告日 2020.01.10 (21)申请号 20192