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便携式晶圆对位冷板及其使用方法.pdfVIP

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  • 2023-07-29 发布于四川
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便携式晶圆对位冷板及其使用方法.pdf

    本申请涉及纳米压印技术领域，公开一种便携式晶圆对位冷板，包括吸笔本体、降温板、小型真空泵和对位结构，吸笔本体的支撑部上设置有若干第一真空吸孔和若干排气口，第一真空吸孔位于在支撑部的上表面，排气口位于支撑部的侧部，降温板安装在支撑部上，降温板上设置有若干与第一真空吸孔位置对应的第二真空吸孔；小型真空泵安装在吸笔本体的手持部上，包括开关按钮、与真空吸孔连通的抽气嘴和与排气口连通的排气嘴；对位结构用于对吸笔本体和晶圆定位。本公开能够用于转移晶圆，也可作为对位工装，且在晶圆转移过程中，即可实现晶圆降温，

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116504700 A (43)申请公布日 2023.07.28 (21)申请号 202211727853.6 (22)申请日 2022.12.30 (71)申请人 青岛天仁微纳科技有限责任公司 地址

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