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电子厂房净化空调方式选择 引言 当前的电子厂房洁净室洁净等级大部分在1000级（ISO6级）一10000级（ISO7级） 之间，其相当的换气次数平均在25-60次/H，要求的洁净室环境参数比较严格，大部份要 求为室内温度22±2°C，相对湿度55±5%，洁净室内工艺设备发热量大，部份工艺设备排 除热量所需的排风量也很大。由于要求高，发热量大，导致电子厂房洁净室空调系统的能 耗是很惊人的，所以在设计之初对于洁净室空调系统的方式选择就需要认真考虑。 目前大多数已建成的电子厂房中，洁净室的空调系统一般都会使用常规净化空调方式- —新风机组+混风机组+高效过滤器（HEPA），而另一种净化空调方式---新风机组+干盘管 +FFU （FFU为英文缩写，全称为Fan Filter Unit,中文意思为风机过滤器单元）比较少 见，原因有：（1）常规净化方式一直沿用，不愿更新改变；（2）部分企业认为新风机组+ 干盘管+FFU方式的洁净空调系统是用于高洁净度（N100级）要求的项目中，担心用于1000 级一10000级项目时造价会偏高。为此，本文着重从两种空调方式的特点及能耗方面进行 分析探讨，说明新风机组+干盘管+FFU方式的洁净空调系统在电子厂房是确实可行的，并 总结此净化空调方式在设计过程中需要注意的一些问题。 一、两种净化空调方式的分析比较 1.1新风机组+混风机组+高效过滤器（HEPA ）空