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一种晶片清洗烘干设备.pdfVIP

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  • 2023-07-31 发布于四川
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一种晶片清洗烘干设备.pdf

    本实用新型提出了一种晶片清洗烘干设备，包括清洗槽、清洗机构和烘干机构；清洗槽内固定有多个用于放置晶片的清洗杯，清洗杯顶端设有晶片取放口且其底板上分布有多个出水孔，清洗杯内壁设有螺旋布置的清洗管，清洗管底端穿过清洗杯底板伸入清洗槽内，清洗管上分布有多个喷嘴；清洗机构包括多个供水管，多个供水管分别与多个清洗杯的清洗管底端可拆卸连接，供水管上设有供水泵；烘干机构包括环形管、多个供风管和引风管，多个供风管一端分别与多个清洗杯的清洗管底端可拆卸连接，供风管上设有风机，多个供风管另一端均与环形管连接，环形管

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 209947800 U (45)授权公告日 2020.01.14 (21)申请号 20192

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