第五章电容式传感器.pptVIP

第一页，共二十九页，2022年，8月28日 5.1 电容式传感器的工作原理和结构 典型应用范围：差压、(角)位移、振动、加速度、物位、成分含量、层析 一、基本工作原理（物理学内容的复习） 1.平行板电容器 电容量C + - d A 平行板电容器 电力线 忽略了边缘效应 当平行板的间距d 远小于平行板的尺寸（半径、长和宽等）时，对精度要求不是特别严格的条件下，边缘效应即可忽略。 第二页，共二十九页，2022年，8月28日 R r L 同心圆筒形电容器 2.同心圆筒形电容器 忽略了边缘效应: L (R – r ) 在上述两种电容器中，决定其容量大小的诸多参数之一在待测对象的作用发生变化，其电容量将随之改变，这就是电容式传感器的物理基础。对于平行板电容器可以变化的参数有：ε、A、d等；对于同心圆筒形电容器可以变化的参数有：ε、L、r/R等。 第三页，共二十九页，2022年，8月28日 二、变极距型电容式传感器（平行板电容器式） 当极距 d0→ d1 = d0-Δd 时，则电容量C0 →C1。 C0 0 然而，d0受介质的绝缘强度限制（空气:约 3KV/mm），不可太小。通常，d 在25～200μm之间， Δd /d0 0.1（非线性误差不可太大）。 利用Δd → ΔC的特性，可以测量微小位移或厚度。 放置了介质片的变极距型电容式传感器容量变化公式的推导 灵敏度： 第四页，共二十九页，2022年，8月28日 放置介质片的平行板电容器 返回 第五页，共二十九页，2022年，8月28日 三、变面积型电容式传感器 定极板 动极板 平板电容式角位移传感器 1.角位移传感器 模型：两半圆形板极(定板极和动板极)的间距为d , 面积均为A ，可绕同圆心转动，其夹角为θ。 C（ΔC）与θ（角位移）成线性关系。 第六页，共二十九页，2022年，8月28日 A-两极板的有效覆盖面积 C~?x呈线性关系 （2） 第七页，共二十九页，2022年，8月28日 D0 D1 L a 圆柱形电容式线位移传感器 3.同心圆筒形线位移电容式传感器 模型：如右图。初始电容C0： 当内筒上移为a 时，内外筒间的电容C1为： 第八页，共二十九页，2022年，8月28日 四 变介质型电容传感器 并联电容： 第九页，共二十九页，2022年，8月28日 5.2 电容式传感器的灵敏度及非线性 从前述讨论可知，变极板面积型电容传感器的电容量与作用量（θ、L）间呈严格的线性关系，而变极距型电容式传感器仅在Δd/d 较小时呈近似线性关系。按线性关系处理，必然带来一定的非线性误差。 变极距型 第十页，共二十九页，2022年，8月28日 差动式结构 差动式灵敏度增加了一倍，非线性误差大大降低了。 2 4 6 8 10 20 30 40 差动电容传感器输出特性曲线 对这两个输出特性作一简单的比较即可发现，差动电容传感器的非线性因子要比变极距型电容式传感器的非线性因子小得多，做近似性线性处理后，差动电容传感器的非线性误差自然也要小得多。 第十一页，共二十九页，2022年，8月28日 5.3 电容式传感器的等效电路及特性 一、电容式传感器的等效电路 图3-9电容式传感器的等效电路 RP — 并联损耗电阻(板极间的漏电及介质损耗) RS — 串联损耗电阻(引线电阻及高频驱肤效应) L — 分布电感 C — 传感器电容 在RP、 RS忽略时，传感器的等效电容Ce由: 容抗 感抗 第十二页，共二十九页，2022年，8月28日 二、电容式传感器的几个典型特点 1.高阻抗 直流电阻趋于无穷大，交流阻抗1/( jωC)由于C一般较小，当频率ω不太高时交流阻也很大 2.小功率 视在功率PC=UI=U 2ωC，由于C很小，则在频率ω不太高时PC也很小。 3.存在静电吸引力 由于板极间距很小，所以静电力就比较明显，特别是小板极间距测量时可能会引入附加误差。 4.测量回路通常要用交流回路。 第十三页，共二十九页，2022年，8月28日 5.4 电容式传感器的测量电路 C, ?C十分微小?测量电路?电压、电流、频率 电容转换电路：调频电路、运算放大器式电路、二极管双T形交流电桥、脉冲宽度调制电路等 第十四页，共二十九页，2022年，8月28日 一 调频电路 Cx=C0±?C——传感器电容； C1——振荡回路的固有电容； C2——传感器引线的分布电容；C——总电容； L——振荡回路电感。 第十五页，共二十九页，2022年，8月28日 分辨率高：0.01?m级位移变化量。信号的输出频率可用数字仪器测量 （1）当被测信号为零时，?C＝0，C＝C