用于晶圆传输的推车、晶圆传送系统和传输晶圆的方法.pdfVIP

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2023-08-02 发布于四川
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用于晶圆传输的推车、晶圆传送系统和传输晶圆的方法.pdf

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用于晶圆传输的推车，该推车包括推车主体，推车主体包括围绕间隔的侧壁和可附接到侧壁的盖子；第一晶圆保持架，被配置为承载晶圆并且被设置在间隔内；第二晶圆保持架，被配置为承载晶圆并且被设置在间隔内以及第一晶圆保持架上方；分离器，设置在第一晶圆保持架和第二晶圆保持架之间；以及气密锁，被配置为密封推车主体，其中，分离器与推车主体彼此独立，并且气密锁包括被配置为彼此接合的插销元件和卡扣元件，卡扣元件从侧壁突出，并且卡扣元件设置在盖子上。本发明的实施例还提供了晶圆传送系统和传输晶圆的方法。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116525509 A (43)申请公布日 2023.08.01 (21)申请号 202310213880.X (22)申请日 2023.03.08 (30)优先权数据