一种基于光致导电电极板的微电铸装置.pdfVIP

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2023-08-02 发布于四川
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一种基于光致导电电极板的微电铸装置.pdf

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本实用新型公开了一种基于光致导电电极板的微电铸装置，包括供电电源、与所述供电电源电连接的第一电极板、与所述供电电源电连接的第二电极板、位于所述第二电极板表面靠近所述第一电极板一侧的光致导电层、用于实现电铸反应的电铸液以及用于照射所述第二电极板的光源。本实用新型提供的基于光致导电电极板的微电铸装置，利用光致导电层受光照导电的特性，通过控制光源的形状及面积来控制电铸呈的面积及形状，省去了传统电铸加工的掩膜的制作，简化了加工过程，节约了生产成本。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 209974922 U (45)授权公告日 2020.01.21 (21)申请号 20192