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喷镀材料、喷镀覆膜、喷镀覆膜的形成方法、等离子体蚀刻装置用部件.pdfVIP

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  • 2023-08-05 发布于四川
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喷镀材料、喷镀覆膜、喷镀覆膜的形成方法、等离子体蚀刻装置用部件.pdf

    提供一种耐等离子体侵蚀性优异、能够长期保护等离子体蚀刻装置的构件不受等离子体侵蚀的影响、有助于设备的稳定生产、构件的长寿命化的喷镀覆膜。作为本发明的一个方式的喷镀材料由复合化物形成，所述复合化物以40mol％以上且80mol％以下的比例包含稀土氟化物，以10mol％以上且40mol％以下的比例包含氟化镁，以0mol％以上且40mol％以下的比例包含氟化钙。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116547786 A (43)申请公布日 2023.08.04 (21)申请号 202180082200.4 (74)专利代理机构 北京市柳沈律师事务所

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