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一种蓝膜晶元分步固晶装置.pdfVIP

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  • 2023-08-05 发布于四川
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一种蓝膜晶元分步固晶装置.pdf

    本实用新型提供了一种蓝膜晶元分步固晶装置，包括底板、机架和工作台，所述工作台上放置有石墨盘，所述分步固晶装置还包括设置在所述底板上的固晶装置、转动换位装置和输送轨，所述固晶装置用于将晶元从蓝膜上取出并放置到石墨盘的料片上，所述固晶装置的数量为二个；所述转动换位装置设置在二个所述固晶装置之间，所述转动换位装置用于将所述工作台上的石墨盘转动换位；所述工作台滑动安装在所述输送轨上，并能在所述固晶装置和所述转动换位装置之间移动，通过在二个固晶装置之间设置转动换位装置，二个固晶装置分别完成石墨盘的一半固晶

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 209993573 U (45)授权公告日 2020.01.24 (21)申请号 20192

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