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防粘连石英舟结构.pdfVIP

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  • 2023-08-05 发布于四川
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防粘连石英舟结构.pdf

    本申请提供了防粘连石英舟结构，包括石英舟主体，石英舟主体内设置有隔离机构；隔离机构包括设置在石英舟主体内的支撑部，支撑部上设置有若干个可移动拆卸的隔离部。本申请通过设置的隔离机构，隔离机构中的支撑部能够对隔离部进行支撑，通过隔离部能够将硅片隔离开，从而避免硅片之间相互粘连，进行减少因硅片粘连而导致加工质量下降的情况，从而提高加工质量；通过设置的隔离机构，隔离机构中的隔离部能够在支撑部上移动，从而能够根据硅片的情况调整隔离部的位置，满足不同硅片的使用需求，且隔离部能够进行拆装，从而能够根据硅片的数

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219476638 U (45)授权公告日 2023.08.04 (21)申请号 202320709430.5 (22)申请日 2023.04.03 (73)专利权人 湖州硅石新能源科技有限公司 地址

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