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- 2023-08-05 发布于四川
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本实用新型公开了一种可补充硅粉的坩埚组件及碳化硅晶体生长装置，坩埚组件包括：坩埚；套筒和伸缩杆，套筒设在坩埚内，伸缩杆在第一位置和第二位置之间可上下移动；多个第一连接杆，每个第一连接杆的一端与套筒的顶端可转动地相连，每个第一连接杆的另一端与补料箱固定相连，补料箱包括箱体和滑动板，箱体的顶部设有敞开口，箱体内设有硅粉，滑动板可移动地设于敞开口处；多个第二连接杆，当伸缩杆向下移动到第二位置时，多个第一连接杆处于张开状态，箱体倾斜，滑动板打开敞开口。根据本实用新型的坩埚组件，在长晶中后期，通过控制存料
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219470279 U
(45)授权公告日 2023.08.04
(21)申请号 202320203414.9
(22)申请日 2023.02.14
(73)专利权人 江苏集芯半导体硅材料研究院有
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