半导体测试与分析.pptVIP

第5种修正因子——对圆形薄层的修正 修正因子F5定义为 第二十九页，共四十四页，2022年，8月28日 一些典型d／s值下的修正因子F5如表5．5所示。表中数据表明，对于针距1mm的四探针系统，测量直径30mm以上的圆形薄层时完全可以不考虑边界的影响。 第三十页，共四十四页，2022年，8月28日 第6种修正因子——针对矩形薄层的修正 第三十一页，共四十四页，2022年，8月28日 第一页，共四十四页，2022年，8月28日 前言 半导体材料中杂质和缺陷的重要性 随着半导体技术和科学的发展，对杂质和缺陷的检测方法在准确性和精度方面要求越来越高 检测内容也发生了变化。 从材料缺陷宏观观察和电学性质的宏观测量转移到对表面、界面及薄膜的组分、结构和特征参数的细微研究。 从对杂质和缺陷宏观效果评价发展到对他们电子结构及相互作用的探索 人类在自然科学和工程技术方面的长足进步，也为半导体材料的检测和分析提供了多种物理、化学方法 第二页，共四十四页，2022年，8月28日 电阻率与杂质浓度测试 电阻率是半导体材料最重要的电特性之一 电阻率值的大小是设计器件参数以及器件制造过程中选择材料、控制工艺条件的重要依据 半导体生产过程中的电阻率测量是十分频繁的，也是非常关键的。准确易行的电阻率测量方法对于保证器件质量以及新材料、新器件、新工艺的开发都是十分必要