SJT 10314-1992直流四探针电阻率测试通用技术条件.pdf

N04SJ中华人民共和国电子行业标准SJ/T 10314-92直流四探针电阻率测试仪通用技术条件Generic specification of resistivity measuringinstrument with four-point probe1992-06-15发布1992-12-01实施中华人民共和国机械电子工业部发布 中华人民共和国电子行业标准SJ/T10314-92直流四探针电阻率测试仪通用技术条件Generic specification of resistivity measuringinstrument with four-point probe1主题内容与适用范围本标准规定了直流四探针电阻率测试仪（以下简称四探针测试仪）的主要技术性能、测试方法、检测规则、包装、运输、贮存要求等，本标准适用于电子和冶金等行业生产与科研中测量半导体、金属薄层等的电阻率、薄层电阻和电阻的直流四探针测试仪，其它以四探针法为基础的六探针、交直流四探针电阻率、薄层电阻测试仪可参照使用。本标准不包括四探针探头标准。2引用标准GB 191包装储运图示标志GB 2900.1电工名词术语，基本名词术语硅片电阻率的直排四探针测试方法GB 6615GB11073硅片径向电阻率变化的测试方法SJ 1889电子测量仪器可靠性试验方案SJ 2439硅单晶棒片SJ/T10315四探针探头通用技术条件JJG508四探针电阻率测试仪检定规程3术语除下述术语外，本标准所采用的电工名词术语、四探针探头名词术语分别按GB2900.1《电工名词术语、基本名词术语》和SJ/T10315《四探针探头通用技术条件》的标准规定。3.1电阻率p材料内平行于电流方向的电势梯度与电流密度之比，又称体电阻率，单位为欧姆·厘米(2·cm)。使用直线形排列与正方形排列的四探针测试仪，电阻率β的基本计算公式及公式的使用条件等见附录A。3.2薄层电阻R1992-12-01实施中华人民共和国机械电子工业部1992-06-15批准 1 - SJ/T 10314-92材料内平行于电流方向的电势梯度除以电流密度与材料厚度的乘积，当厚度趋近于零时，其值为薄层电阻。形式上为薄层电阻率除以材料厚度，单位为欧姆/方块(Q/)。使用直线形排列和正方形排列的四探针测试仪，薄层电阻R。的基本计算公式及公式的使用条件等见附录A。3.3修正系数当探针间距、被测样品的几何形状与尺寸等满足不了基本公式所要求的理想条件时，需要在基本公式中附加一些系数进行修正，这些系数称为修正系数。各修正系数的定义、计算公式、使用条件等见附录A。3.4直流四探针电阻率测试仪用来测试材料电阻率、薄层电阻和电阻的探针测试装置。由四探针探头、直流恒流电源和测量仪表等组成。用规定的压力将探头上四根探针与被测样品表面形成欧姆接触，在其二根探针上通以电流，在另外两探针上测量其电位差，利用通入的电流和测量的电位差等数据，以及相应公式经过运算处理得到被测量的参数。4技术要求4.1外观结构要求4.1.1.四探针测试仪的外观结构应符合下列原则：布局合理、美观大方、结构紧凑、显示清晰、操作方便、易于维修。4.1.2四探针测试仪的表面平整光滑，无划痕、压伤、变形、锈蚀现象，涂复层不得脱落。4.1.3零部件的安装应牢固无松动，有防松动措施，开关、旋钮的调节应方便，操作应灵活。4.1.4四探针测试仪面板上的文字符号和标志清楚无误，符合有关标准规定。4.1.5.位移机构的动作应平稳，操作方便，噪声小。4.1.6探头外观要求应符合SJ/T10315标准的规定，4.2使用环境要求大气压：(86～106)kPa;温度：（23±5）℃；相对湿度：不大于65%具有空调的专用清洁室；室内无强电磁场干扰，无强光直接照射，没有明显的振动和波动。4.3电源要求电压：(220±10%)V；频率：（50士1%)Hz；波形：正弦波。4.4安全要求4.4.1电源输入端与机壳间的绝缘电阻应大于500Mα。4.4.2电源进线应有保险器。4.4.3电源输入端与机壳间应能承受1500V（有效值）交流电压历时1分钟，无击穿与飞弧现象。4.5主要技术性能四探针测试仪按主要技术性能分为I、I级，在I级仪器中按自动化程度分为A、B两档。 2— SJ/T 10314-924.5.1整机综合技术指标4.5.1.1测量范围(见表1)表111四探针测试仪等级10-3~2×10310-~10电阻率α·cm10-²~2×1010~3~105薄层电阻0/□10-²~2X1010-3~105电阻4.5.1.2准确度（见表2)表 2 11四探针测试仪等级±5%±3%0.01~5000·cm0. 001~0.010 ·cm±5%±10%500~10000·cm3重复性(见表3)4.5.1.3表 3真1四探针测试仪等级2%(2