梳齿结构与振动梁复合的硅微谐振器的非线性分析.docxVIP

? ? 梳齿结构与振动梁复合的硅微谐振器的非线性分析 ? ? 周春燕，胡博 （北京理工大学 宇航学院，北京 100081） 硅微谐振器通常作为传感器敏感元件，在MEMS中具有广泛应用. 硅微梁式谐振器以弹性梁作为敏感元件，通常采用梳齿电容进行动态扫频加载和频率检测[1]. 其原理是通过将被测物理量（压力、加速度、温度等）的改变转化为弹性梁轴向受力，从而改变梁的固有频率. 但随着MEMS 体积的减小，谐振器尺寸常在微米甚至纳米级别，系统与结构的力学特性表现出很强的尺度效应[2]，输出信号中的噪声干扰将越来越明显. KAAJAKARI 等[3]通过增大振动幅度的方式提高信噪比. 但是在微尺度下，振动幅度增大将使谐振梁的振动特性具有非线性，产生分岔不稳定性[4-6]. 机械非线性的产生，使得整个梁结构的幅频响应曲线右倾，弯曲到更高的频率，造成谐振器振幅受限，无法获得稳定振荡所需要的相位，造成大信噪比等不利影响[7-8]. 因此很有必要对谐振器结构的非线性展开研究分析，在设计中尽量增大振幅的同时避免非线性带来的负面影响. YOUNIS 等[9]考察了两端固支的微机械谐振梁在平板电容激励下的非线性响应，讨论了不同振幅和阻尼条件下振动特性的理论解. SHAO 等[10]采用频闪扫描电子显微镜，实验观察了两端固支谐振梁，在中间连接分离式梳齿电容激励下的非线性响应.CHEN 等[11]研究