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- 2023-08-12 发布于四川
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本发明公开了一种利用氟晶云母进行电极转移的方法，1.包括如下工艺步骤：步骤1：提供解理的氟晶云母；步骤2：在氟晶云母表面制作待转移电极；步骤3：在电极和氟晶云母表面设置粘附层；步骤4：在粘附层表面设置支撑层；步骤5：将电极/粘附层/支撑层组成的叠层结构从氟晶云母表面机械剥离；步骤6：将叠层结构转移至目标衬底上并与目标衬底贴合牢固；步骤7：依次将支撑层和粘附层从目标衬底上去除。本发明利用氟晶云母作为制备待转移电极的衬底，相比于大面积的高质量石墨烯成本大幅降低；相比于单晶硅或氧化硅，避免了有毒试剂H
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116581021 A
(43)申请公布日 2023.08.11
(21)申请号 202310549674.6
(22)申请日 2023.05.16
(71)申请人 合肥蔻享数字科技有限公司
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