舟托结构及半导体加工设备.pdfVIP

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2023-08-12 发布于四川
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舟托结构及半导体加工设备.pdf

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本实用新型公开了一种舟托结构及半导体加工设备，舟托结构用于支撑舟结构，舟托结构具有定位槽，定位槽用于与舟结构的支撑柱配合，且定位槽的底壁与舟结构的支撑柱的接触形式为线接触。在实际工作过程中，将舟结构放置在舟托结构上时，支撑柱配合在定位槽内，定位槽能够限制支撑柱沿舟托结构的长度方向的运动，且由于定位槽的底壁与支撑柱的接触形式为线接触，增加接触压强，使得舟结构更为牢固的放置在舟托结构上。

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219513075 U (45)授权公告日 2023.08.11 (21)申请号 202320811973.8 (22)申请日 2023.04.13 (73)专利权人拉普拉斯（广州）半导体科技有限