物理气相传输法生长块状氮化铝晶体的模拟分.docxVIP

PAGE PAGE I 摘要 氮化铝晶体具有热导率高、化学性能稳定等优异的特性，在高功率、高频率、高温以及紫外光器件等方面得到了很好的应用。目前生长块状氮化铝晶体的主要方法是物理气相传输法（PVT），但因为在温度为1700 ℃时，AlN晶体开始分解，得到铝蒸气和氮气，而AlN具有很高的熔点（其理论计算得到的熔点可达到2800 ℃），达到溶解温度时对应的离解压力大（20 MPa），因此，在常压下很难采用熔融法生长块状AlN。晶体热场的分布是决定氮化铝晶体品质的重要因素。本文利用传统的PVT装置，使用CGSim软件模拟研究坩埚材料、氮化铝原料分解界面与晶体结晶界面的距离、加热功率、电