[实验课课件]椭圆偏振实验.pdfVIP

椭偏法测量 薄膜厚度与折射率 一、实验原理 p s α1 p 偏振光入射到薄膜 s n1 空气界面1 上, 总反射率满足 d α2 n2 薄膜界面2 右下式 α3 n3 基底 式中r1p 、r1s 、r2p 、r2s分别代表界 E r +r e−i2 R rp 1p 2p 面1、界面2 的菲涅尔反射系数 p E 1+r r e−i2 ip 1p 2p 2δ为相邻两束反射光间的位相差 E r +r e−i2 R rs 1s 2s 4d 4d s −i2