基于不同气流量的ITO衬底上AZO薄膜的制备及性能研究.docxVIP

14 - 基于不同气流量的ITO衬底上AZO薄膜的制备及性能研究 PAGE III 摘 要 近些年来，透明导电薄膜进入了人们的视野，它在半导体及半导体照明、太阳能电池、显示器等诸多领域得到了广泛的应用，引起了人们的重视。为了满足产品商业化的需求，及获得更高的太阳能电池转化效率，人们对透明导电薄膜也有了更高要求：光透过率高；电阻率低；抗腐蚀性好；耐磨性好；热稳定性、附着性好；镀膜工艺简单；成本低等。 经过研究表明，氧化锌铝掺杂（AZO）薄膜与ITO薄膜的光电特性相当，并且它还具有原料来源丰富、成本低、容易制备、无毒性、稳定性好等优点，它可以代替ITO薄膜，并且它开始被应用到许多