传感器与检测技术课件第二章.pptVIP

3. 变介质型电容式位移传感器 电容测厚仪 设极板形状为长方形，面积为S,两极板间的距离为d；被测物的厚度为δ δ d ε0 ——真空介电常数 εr ——介质的相对介电常数 ε——介质的介电常数， ε= εr ε0在空气中εr=1 厚度传感器的等效电路 C C1 C2 C3 第六十二页，共八十七页，2022年，8月28日 δ C1 C3 C2 d ——电容C与介质厚度δ介电常数ε之间的关系是非线性的 电容测厚仪 3. 变介质型电容式位移传感器 第六十三页，共八十七页，2022年，8月28日 容栅位移传感器是根据在间隙δ和介电常数ε一定的条件下，电容△C的变化量的大小与耦合面积△S变化量的大小成正比，因此容栅式传感器是在变面积型电容传感器的基础上发展起来的一种新型传感器。 容栅位移传感器可分为两类，即长容栅位移传感器和圆容栅角位移传感器。 4. 容栅式位移传感器 第六十四页，共八十七页，2022年，8月28日 ? 取一根细电阻丝，两端接上一台3位半位数字式欧姆表（分辨率为1/2000），记下其初始阻值（图中为10.01?）。 实验演示 ： 当我们用力将该电阻丝拉长时，会发现其阻值略有增加（图中增加到为10.05?）。测量应力、应变、力的传感器就是利用类似的原理制作的。 第三十页，共八十七页，2022年，8月28日 应变式传感器广泛应用于各种电子称 第三十一页，共八十七页，2022年，8月28日 动态电子秤 应变式传感器广泛应用于各种电子称 第三十二页，共八十七页，2022年，8月28日 机械秤包装机 吊秤 应变式传感器广泛应用于各种电子称 第三十三页，共八十七页，2022年，8月28日 三、电容式位移传感器 电容位移传感器是一种非接触电容式原理的精密测量仪器，具有一般非接触式仪器所共有的无磨擦、无损磨和无惰性特点外，还具有信噪比大，灵敏度高，零漂小，频响宽，非线性小，精度稳定性好，抗电磁干扰能力强和使用操作方便等优点。在国内研究所，高等院校、工厂和军工部门得到广泛应用，成为科研、教学和生产中一种不可缺少的测试仪器。 第三十四页，共八十七页，2022年，8月28日 ZNXsensor超精密电容位移传感器 ZCS1100精密电容位移传感器 三、电容式位移传感器 第三十五页，共八十七页，2022年，8月28日 三、电容式位移传感器 应用领域： 压电微位移、振动台，电子显微镜微调，天文望远镜镜片微调，精密微位移测量等。 第三十六页，共八十七页，2022年，8月28日 三、电容式位移传感器 电容式位移传感器是利用电容量的变化来测量线位移或角位移的装置， 其基本工作原理如右图示： 平板电容为: S ?? 极板面积 ?? 极板间距 ?0 ?? 真空介电常数 ε0 =8.854×10-12 F/m ?r ?? 极板介质的相对介电常数 ε= ε0 εr 第三十七页，共八十七页，2022年，8月28日 三、电容式位移传感器 等式右边的三个参数改变任何一个都可以使电容值C发生变化。这就是电容传感器的基本工作原理。 电容式传感器 变极板间距型 变面积型 变介电常数型 第三十八页，共八十七页，2022年，8月28日 三、电容式位移传感器 电容式传感器 变极板间距型 变面积型 变介电常数型 ——变极距型电容位移传感器：具有较高的灵敏度、但电容变化与极距变化之间为非线性关系。 ——变面积型和变介质（变介电常数）电容位移传感器：具有比较好的线性，但灵敏度比较低。 第三十九页，共八十七页，2022年，8月28日 电容式位移传感器的使用方式 ——封闭形式下使用 ——开放形式下使用，即利用被测对象作为一个极板（当被测对象为导体时），或利用被测对象作为极板间的介质（当被测对象为绝缘体时） ——由于带电极板间的静电引力小，活动部分的可动质量小，对输入能量的要求低，且具有较好的动态响应特性 ——由于介质损耗小，传感器本身发热影响小，而使其能在高频范围内工作。 ——电容位移传感器的构件和连接电缆会引起泄漏电容，造成测量误差。 电容式位移传感器的特点 三、电容式位移传感器 第四十页，共八十七页，2022年，8月28日 三、电容式位移传感器 1.变极距型电容位移传感器 由式 知，电容C与极板间距δ成双曲线关系。 设动极板间的初始极距为δ0 则初始电容量： 当动极板上移，极距δ0减小△δ，传感器的电容量 第四十一页，共八十七页，2022年，8月28日 三、电容式位移传感器 1.变极距型电容位移传感器 电容增量： (2-5) (2-6) 第四十二页，共八十七页，2022年，8月28日 三、电容式位移传感器 1.变极距型电容位移传感器 (2-6) 略去高次非线性项，得电容的相对变化量为： 传感器的灵敏度为： 非线性误差与Δδ/δ0 有关